Muhammad, B.R. and Nugroho, A.W. 2017. Disain Dan Fabrikasi Mesin Sputtering Skala Laboratorium untuk Penumbuhan Film Tipis. Semesta Teknika. 20, 1 (May 2017), 1–7. DOI:https://doi.org/10.18196/st.v20i1.2886.