MUHAMMAD, B. R.; NUGROHO, A. W. Disain Dan Fabrikasi Mesin Sputtering Skala Laboratorium untuk Penumbuhan Film Tipis. Semesta Teknika, [S. l.], v. 20, n. 1, p. 1–7, 2017. DOI: 10.18196/st.v20i1.2886. Disponível em: https://journal.umy.ac.id/index.php/st/article/view/2886. Acesso em: 16 may. 2025.