Muhammad, Bagja Restu, and Aris Widyo Nugroho. “Disain Dan Fabrikasi Mesin Sputtering Skala Laboratorium Untuk Penumbuhan Film Tipis”. Semesta Teknika 20, no. 1 (May 18, 2017): 1–7. Accessed October 6, 2025. https://journal.umy.ac.id/index.php/st/article/view/2886.